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クリーンルームの維持管理には、清掃から測定までの一連の作業が不可欠です。以下に代表的な作業内容をご紹介します。
クリーンルーム清掃
CR用のウエスを用いて隅々まで清掃を行います。
目には見えない塵埃を清掃するので同じ作業を何度も繰り返します。
細心の注意を払いながらCRを清掃します。
床の清掃は高性能フィルターを搭載したCR用の掃除機を試用します。
天井内の清掃
CRが仕上がる前にダクトなどに堆積している塵埃を清掃します。
天井内は非常に狭いです!
なので、周りの既設物に注意しながら清掃します。
フィルター交換
パンチング取外し作業
フィルター取外し作業。
フィルター取り付け作業。 フィルターの取付が終わると、この段階でリーク測定に移行します。
パンチング取付け作業。 リーク測定が無事に終わるとパンチングを取り付けていきます。
新旧フィルター。 右側が古いフィルター、 左側が新しいフィルターです。
風速測定
フィルター交換前の風速測定。 フィルターが目詰まりしていると風量が落ちるので交換の目安となります。
フィルター交換前の風速測定。
フィルター交換後の風速測定。 既定の風量が出ているかを確認します。
フィルター交換後の風速測定。
リーク測定
フィルターリーク(上流濃度)測定作業。 ※この現場では上流大気塵として測定しています。
フィルターリーク(下流濃度)測定作業。 パンチングの枠面にマスカーを巻いてから測定を開始します。
フィルターリーク(下流濃度)測定作業。 そうすることで、簡易的な陽圧空間をつくり、100%フィルターを通した風となります。
フィルターリーク(下流濃度)測定作業。 ※リーク(漏れ)を確認した場合は交換対象となります。
フィルター取付けを慎重に行えば、リーク測定がスムーズになります!
取り付け時の不備や、フィルター損傷によって本来の性能を発揮できない場合もあるため、フィルターのリーク(漏れ)をパーティクルカウンター(微粒子計測器)という機器を用いて微粒子数を測定します。 クリーンルームの維持管理において非常に重要な検査と位置づけられています。
清浄度測定
微粒子計測器(パーティクルカウンター)を使用して、空気中の微粒子の大きさと個数を計測します。
人体から発塵を計測しないように、一定の距離を保ちます。
既定の清浄度クラスをクリアすることで次のポイントへ移ります。
空気中における浮遊微粒子数を測定し、各清浄度クラスの基準や規格に適合しているかを確認します。 クリーンルームにおける微粒子とは空気中に浮遊している塵埃や微生物のことで、一般的に0.1μm〜0.5μmなどの目には見えないレベルの非常に小さな粒子のことを指します。 ※肉眼で見ることのできる限界値は0.1〜0.2mmです。
お仕事の流れはいかがでしたか? 弊社はクリーンルームの設計・施工に加え、空調機器の据付からCR環境測定、および保守メンテナンスまで一貫して行っている企業です。 本スライドを通じて、弊社の活動意義をご理解いただければ幸いです。
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クリーンルームの維持管理には、清掃から測定までの一連の作業が不可欠です。以下に代表的な作業内容をご紹介します。